三星宣布推出业界首款EUV DRAM

【小熊在线网 新闻报道】3月25日，三星电子宣布，已经出货100万个业界首款10nm EUV级（D1x）DDR4 DRAM模组。三星是第一个在DRAM生产中采用EUV来克服DRAM扩展方面的挑战的厂商。得益于EUV技术，可以在精度更高的光刻中减少多次图案化的重复步骤，并进一步提升产能。三星预计明年开始批量生产基于D1a的DDR5和LPDDR5，这将使12英寸D1x晶圆的生产效率提高一倍。新的模组基于EUV的DRAM模块已经完成了全球客户评估，并将为在高端PC、移动终端、企业级服务器等等应用领域开启新大门。